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什么是光学定位系统,激光准直仪,自准直仪。

作者:admin  时间:2021-12-1 9:52:40

光学定位系统对于确保从光刻和检测到校准、测量和测试的许多制造业的精密工程至关重要。到目前为止,半导体行业对这类系统的需求最大。宏观上,在建筑业,印刷技术,机械测试,激光测试,造船厂,卫星定位,甚至地球移动等几乎所有的高新技术上都需要光学定位系统的支持。光学定位系统是一个高集成的系统,需要光电检测技术,图像处理与定位技术等多项技术的支持。光学定位系统是有这几个部分组成的,包括成像元件,由计算位置和运动反馈而成的智能系统,以及必要时还需要加一个物理调整或位置纠正的机械台。


在光电检测技术中,Duma Optronics是其中的佼佼者。Duma Optronics的Spoton系列的激光位敏探测器分为3种:CCD型探测器,四象限CCD或大面积的PSD,双轴Lateral Effect探测器。每个传感器探头可以配备改善测量范围的光学过滤器,位敏探测器覆盖的波长范围从深紫外到近红外。可同时实时监控激光的位置和功率。它的位置分辨率高达0.1μm,可数字/模拟信号输出,最多可以同时监控3束光。此外该公司还可以提供Alignmeter 激光准直仪可以同时测量激光的位置,角度和功率。此外由精密定位系统供应商PI (Physik Instrumente) GmbH & Co. KG of Karlsruhe, Germany的Pione传感器可直接用于确定位置,Pione传感器采用马赫-曾德干涉仪和高网格分辨率的优化信号处理,并提供了一个分辨率可达20 pm的增量式光学编码器。Industrial Vision Systems可以提供相机技术,以准确定位。根据应用及背景可能涉及利用可见光谱照明,红外或紫外线照明。此外,这家公司还利用激光投影来帮助确定位置调整和测量的边缘。总而言之在光电检测这项技术中,最新的进展是三维光学拾取技术.然而,这一技术仍处于初级阶段,金属产品也存在镜面反射问题,但相机技术在分辨率和速度方面的不断进步正在加快和提高精度。

在图像处理中,可以使用许多工业图像处理技术来定位和确定物体的位置。这包括轮廓匹配(基于在视觉系统中训练的模式)、边缘检测和传统的阈值/分割。此外,一些预处理技术需要与这些方法相结合,以获得准确的结果--例如平滑滤波器。在物体边缘定位时,最大的问题是物体围绕其重心旋转,造成很大的伪移。因此,任何基于视觉的定位系统都必须将旋转和边缘检测作为这一过程的一部分。在定位技术中,在定位设备方面,压电马达的进步正在缩小纳米定位和微定位之间的差距,将压电驱动器的高刚度和分辨率与几乎无限的行程范围结合起来。在自准直仪的设计过程中,也有应用图像处理技术,对于自准直仪来讲,假定反射镜的焦距用F表示,A=X/2FL这个方程可以确定反射镜的偏差,由此可以看出测量反射镜的角度偏差与仪器到反射面的距离无关,成像技术的进步也是自准直仪进入一个新的阶段,将其与激光结合起来大大提高了测量精度。

总而言之,一些行业领袖认为,我们正处于制造业的巨变边缘,在制造业中,智能工厂和计算机化自动化将标志着下一次工业革命的开始。而光学定位系统将在这些未来的工厂中发挥关键作用。维尔克斯长期深耕于激光分析诊断设备领域,目前可以提供Duma Optronics Spoton 位敏探测器,Alignmeter激光准直仪。以下是Alignmeter激光准直仪的规格参数。

Alignmeter激光准直仪型号参数:

镜头焦距

Alignmeter-50mm

Alignmeter-100mm

位置分辨率

0.1μm分辨率@50Hz数字滤波器

位置精度

±15µm±8µm

角度测量范围

180mRad90mRad

80mRad40mRad

角分辨率

0.02mRad0.01mRad

0.01mRad0.006mRad

角精度

0.5 mrad

0.25 mrad

重量

140g不含电缆

180g不含电缆

 

探测器参数:

PSD尺寸

9mmx9mm(标准)

4mmx4mm(可选)

类型

双轴硅树脂,没有玻璃罩

使用光束尺寸范围

50µMΦ8mm

50µMΦ3mm

刷新率

最大频率在500Hz数字滤波器

光谱范围

350-1100nm

位置测量范围

8mm直径圈

3mm直径圈

功率范围

10µw-10mw过滤器

功率准确度(×

±5%

镜头类型

平凸透镜,AR涂层

分束器

50:50R涂层,非极化

温度范围

0°C - 35°C

可选配件

ND衰减片

 

关于本仪器的详细参数以及对光学定位,光电检测技术感兴趣的可以与我们联系。



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