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CTI振镜的全部型号和产品系列

作者:admin  时间:2023-10-31 3:30:51

Novanta旗下的剑桥(Cambridge Technology Inc.CTI)技术公司在光子学方面具备深厚的专业知识与能力,设计出应用于高速成像应用以及微加工、激光焊接和激光治疗等方面的Cambridge Technology振镜。其中,振镜分为单片式振镜和扫描振镜,单片式振镜是把一个金属反射镜装到转动电机上;扫描振镜是含有振镜头,电机,反射镜等的整套振镜扫描系统。CTI扫描振镜的种类和Cambridge Technology扫描振镜型号众多,主要为工业和医疗等应用提供广泛的配置,此文,是CTI振镜的全部型号合集,可帮助用户快速地了解并选择合适的扫描振镜。



双轴Cambridge Technology振镜型号和参数:

扫描振镜剑MOVIA和VERSIA等系列是专为打标和编码应用而设计的新一代双轴扫描振镜(scan head)。LIGHTNING™II振镜有双轴和三轴两个系列可选择,其中,三轴振镜配备了动态聚焦模块(DFM),为系统集成商在大工作区域和三维表面上进行材料加工时提供极大的灵活性。

如下,是MOVIA和VERSIA系列剑桥振镜型号和参数:

输出规格

MOVIA系列

VERSIA系列

入射孔径

10mm

14mm

调节类型

矢量调谐

-

扫描角度

±20°

±21°

光束位移

12.05mm

-

全量程1%的步进响应时1

<210µs

400µs

典型打标速2

3m/s

-

典型定位速2

16m/s

-

可重复性

<3.5µrad

<2µrad

追踪误差Tracking Error

<130µs

<230µs

波长选项3 | 最大功率

CO2:9.2-10.6µm|125W

CO2:9.2-10.6µm|200W

Fiber:1040-1090nm|125W

Fiber:1040-1090nm|200W

Green:532nm|需要与厂家确认

Green:532nm|需要与厂家确认

UV:353-357nm|需要与厂家确认

UV:353-357nm|需要与厂家确认

增益误差Gain Error

<5mrad

-

零点偏移Zero Offset

<5mrad

-

长期偏移4Long Term Offset Drift

<100µrad

<25 µrad

长期漂移4Long Term Scale Drift

<150ppm

<40 ppm

温度偏移

<20µrad/°C

<10 µrad/°C

温度飘移

<20ppm/°C

<10 ppm/°C

指令分辨率

16bit

16bit, 24bit

通信接口

XY2-100

XY2-100,NVL-100

IP等级

IP50

IP54

电源要求

±15V, 3A RMS

48V, 5A RMS

工作温度

15°C-35°C

15 °C - 40 °C

重量kg(近似值)

15kg

2.12 kg

尺寸(长x宽x高)

114mmx94mmx86mm

99mmx99mmx132.20mm


如下,是LIGHTNING™II系列剑桥振镜型号和参数:

参数规格

LIGHTNING™II系列振镜

孔径

14mm

20mm

25mm

30mm

扫描角度

±22°

±20°

±17°

± 20°

步进响应时间

0.36ms

0.37ms

0.36ms

0.55ms

典型加工速度

50rad/s

50rad/s

50rad/s

50rad/s

波长

355nm/532nm/1030nm-1080nm/9.4µm-10.6µm

宽带涂层: 350nm-12µm

重复精度

<1µrad

抖动

<1µrad

长期漂移

10µrad

温度漂移

2µrad/°C

直线度

99.9%

位置分辨率Position Resolution

24-bit

通信协议

GSBus或XY2-100

状态信号

位置确认、系统就绪的状态信号

指令解析

24-bit (GSB)或16-bit (XY2-100)

冷却水温度

20.0°C±2.5°C

用水要求

蒸馏水加缓蚀剂/除藻剂,如Optishield®Plus 或同类产品

电源要求

+15V至+48V DC, 每路3A RMS, 6A峰值

工作温度

15°C-35°C


单片式CRS剑桥扫描振镜型号参数:

Cambridge Technology扫描振镜CRS的镜面是由轻质铍制成,而且带宽涂层还能够反射多种波长的激光,提供动态性能。当剑桥扫描振镜CRS系列与其他振镜搭配使用时,可在二维区域内进行高速光栅扫描,因此,激光扫描振镜非常适合显微镜和扫描激光眼科的应用。如下,是CRS系列CTI振镜的全部型号:

规格

CRS 4KHz

CRS 8KHz

CRS 12KHz

镜面尺寸

Ø12.7mm

7.8x5.5mm椭圆形

7.8x5.5mm椭圆形

光圈清晰度Clear Aperture

12x9.25mm

7.2x5.0mm椭圆形

7.2x5.0mm椭圆形

共振频率(25°C

3,938Hz

7,910Hz

12,000Hz

频率误差(25°C

±50Hz

±15Hz

±50Hz

最大扫描角度(度,峰峰值)

24°

26°

10°

可重复追踪摆动Trace to Retrace Wobble Repeatable

(最大扫描角度下的典型值)

<250µrad

<250µrad

<175µrad

典型功耗

1.0W

1.0W

1.5W

波长选项

带宽涂层:保护银

频率热稳定性

110ppm/°C

速度反馈Velocity Feedback

驱动程序规格

电源

单轨,12V DC

指令电压

0-4V DC

0-5V DC

扫描振幅控制

同步信号

是,在每次改变方向时发生

尺寸(长x宽)

30.5mmx43mm

30.5mmx43mm

30.5mmx43mm

注:除非另有说明,否则所有角度均为光学角度。所有规格如有变更,恕不另行通知。


单片式62xxK83xxK剑桥检流式CTI振镜的全部型号和参数:

剑桥检流式振镜62xxK83xxK系列具有速度快、可靠性高、分辨率高和热稳定性高等特点,可满足最苛刻的高精度应用要求,剑桥振镜主要应用于微加工、激光焊接和激光治疗等方面。如下,是62xxK83xxK系列剑桥扫描振镜型号和参数:

规格

6200K

8300K

6210K

8310K

6215K

8315K

6220K

8320K

6230K

8330K

6231K

8331K

6240K

8340K

6250K

8350K

6260K

8360K

光圈尺寸

3-7mm

3-7mm

3-7mm

5-10mm

8-15mm

8-5mm

12-25mm

25-75mm

30-100mm

波长

355nm/532nm/1030nm-1080nm /9.4μm-10.6μm  带宽涂层: 350nm–12μm

最大扫描角度

40°

兼容伺服驱动器

模拟系列:671, 672, 673 | 数字系列:DC900DC3000 Plus

转子惯性(gm-cm2,±10%)

0.013

0.018

0.028

0.125

0.97

0.82

2.4

15.6

47.5

扭矩常数(dyne·cm/amp, ±10%)

1.2x104

2.79x104

3.78x104

6.17x104

1.31x105

1.11x105

2.0x105

7.08x105

8.5x105

转子最高温度

110°C

热阻

(转子到外壳)

3.8°C/W

2.0°C/W

1.0°C/W

1.0°C/W

0.8°C/W

1.0°C/W

0.62°C/W

0.035°C/W

0.2°C/W

线圈电阻(ohms,±10%)

2.14

3.7

2.5

2.79

1.07

1.27

1.03

1.69

0.60

线圈电感 (μH,±10%)

52

109

94

180

173

176

350

1030

530

反向EMF电压

V/°/s,±10%)

20.9

48.7

66

108

229

195

346

1220

1480

RMS电流(A at case

= 50°Cmax)

2.3

2.4

4.1

3.9

7.1

5.8

8.2

7.1

12

峰值电流(A,max)

6

8

20

20

25

25

25

20

40

重量

13.3g

18g

25.8g

42.5g

267g

142g

356g

590g

1200g

位置探测器Position Detector

线性

99.9% minimum, over 20°

99.5% typical, over 40°

短期重复性

8 µrad

共模输出信号

AGC电流为25 mA时,达到155µA(±25%)

差分模式输出信号

共模电流为155µA时为12μA/°(±5%)

62xxK vs. 83xxK

刻度偏移(最大值)

62xxK: 50 ppm/°C

83xxK: 15 ppm/°C

零漂移 (最大值)

62xxK: 15 μrad/°C

83xxK: 5 μrad/°C

注:除非另有说明,所有角度均为机械角度,尺寸单位为毫米,所有规格如有变更,恕不另行通知。

参考文献

1、0.1°步距,稳定在最终位置的99%以内,需要剑桥技术伺服板


DC系列数字伺服驱动器规格参数:

扫描振镜的伺服驱动器由剑桥技术品牌提供,包括数字和模拟技术,可根据应用需求灵活集成系统并提高性能。其中,DC系列数字伺服驱动器具有自校准、状态空间控制和指令输入优化功能,适用于高速度的应用。

规格

DC3000 Plus (低噪音)

轴的数量

双轴

指令输入

XY2-100(高速串行数字)

共振频率(25°C

3,938Hz

模拟输入阻抗

-

模拟输出阻抗

OPA2227的非端接输出,<1Ω

位置输入比例系数

-

模拟定位输入范围

-

位置输出比例系数

0.333V/degree 无差异

电源需求

可提供±15 至±28VDC 的配置

最大驱动电流上限

峰值20A,有效值5A(每轴)(取决于电源和负载)

静态功率

11.5W

抖动(RMS

4 µrad

工作温度范围

0-50°C

尺寸1

10.50 cm x 7.50 cm x 6.44 cm

注:除非另有说明,否则所有角度均为机械角度。尺寸单位为毫米。所有规格如有变更,恕不另行通知。

参考文献

1. 尺寸包括标准单模块散热器支架。


反射镜的波长与应用:

剑桥科技为多种应用提供具有独特性能的各种高精度光学反射镜,剑桥拥有与OEM客户合作设计、制造和交付反射镜解决方案的丰富经验,可应对独特的应用挑战。另外,美国Novanta的内部制造能力为所有流程提供一站式服务,可生产从原材料到精密抛光、光学镀膜产品的柔性反射镜,并随时准备集成到OEM设备中。

应用实例

典型孔径2

涂层1

通孔钻

10 mm, 14 mm

紫外,绿光

20 mm, 25 mm, 27 mm,30 mm

CO2

增材制造

20 mm, 30 mm

Fiber/YAG

微机械加工

10 mm, 14mm

UV, 绿光, Fiber/YAG

20 mm

Fiber/YAG

打标和编码

6 mm - 8 mm, 10 mm, 14 mm, 15 mm

UV, 绿光, Fiber/YAG, CO2

显微镜

3 mm, 5 mm, 6 mm

可见光,保护铝、保护银

眼科

多种定制

可见光,保护银

参考文献

1. 涂层定义:

a. UV(介质)343-355nm, 绿光(介质)515-532nmFiber/YAG(介质)1040-1090nmCO2(介质)9.3-10.6um

b. 可见光(介质) 450–650nm,保护铝(金属)300-1200nm,保护银(金属)350-7000nm

2. 大多数孔径都有标准性能的硅衬底和高性能的铍衬底供选择


铍的安全性说明:

处理固体形式的铍不会造成特殊的健康风险。一旦离开工厂,所有铍产品都经认证不含污染物,因此在处理时无需担心健康和安全问题。虽然铍合金和衍生物具有优异的性能特点,但仍需要仔细加工,以确保制造团队的安全。因此,剑桥科技在获得许可的生产设施内加工铍,该设施超过了当前所有的健康、安全和环境要求,并通过了 ISO14001认证。铍部件不得在获得许可的设施外进行研磨,在处理任何铍基物品时应遵守当地法律法规。


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