作者：admin 时间：2026-6-4 11:30:24
微米级光斑在半导体激光加工中的应用十分广泛。尽管光斑的直径已经达到了微米级，但是光斑的形貌和能量分布同样对此类精密加工有着不小的影响。以色列DUMA推出了高功率款的焦点光斑分析仪uBeam HP。微米光斑分析仪对于10um直径以上的光斑，可承受功率可达到1500W，对于10um以下光斑同样能承受100W左右的高功率激光束。DUMA微米级光斑分析仪为需要对DOE等调制后微小光斑的用户提供了全新的选择。
DUMA微米级光斑分析仪uBeam HP有×10，×20，×50共3款可选择的观测物镜，微米级光斑分析仪在物镜的前方安装固定了光束采样器，通过对光斑进行分束采样，从而降低入射到CCD靶面上的能量。尽管能量减弱，但是通过显微镜式光路的消色差和物镜的放大，光斑的能量分布依然可以完整的呈现在CCD靶面上。用户可以通过微米光斑分析仪分析光束的能量分布和光束形貌对DOE类光束整形器的光斑进行可视化分析。
DUMA焦点光斑分析仪的适用波段覆盖350~1310nm，根据用户选择的物镜倍率，微米光斑分析仪可以测量10um~300um直径光斑，对于10um直径以下的光斑，需要与我们进行更细致的定制交流。
uBeam HP微米级光斑分析仪主要参数如下：
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uBeam HP微米级光斑分析仪 |
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相机类型 |
1/4 英寸 CCD 470,000 像素 |
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响应光谱范围 |
350 – 1310 nm |
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放大倍数 |
无限共轭物镜：×10，×20，用户可选；×50需按用户需求定制 |
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光束尺寸与功率等级 |
10 um – 0.3 mm 光束<10 um：最高100 W 光束>10 um：最高1.5 kW |
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光束寻找功能 |
为快速寻找光束，系统配备了变焦镜头，用于观察大面积。 |
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衰减 |
内置 ND 滤镜和高功率风冷光束采样器 |
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配置 |
配备 M6 安装螺纹适配器的管式变焦显微镜 |
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尺寸 |
265.3 毫米（长）x 83 毫米直径 |
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重量 |
2.7 千克 |
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最高帧率 |
USB 2.0，Windows 7/8/10（32 & 64 位） |
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接口 |
CPU i3 1.6 GHz, 4 GB RAM |
以色列DUMA在原有的uBeam微米光斑分析仪基础上进行了高功率改进。整个焦点光斑分析仪在CCD传感器的基础上添加了用户可以选择的物镜，通过类似于显微镜的观测方式，对焦点处光斑进行放大观察。将微米级的光斑通过物镜，光路进行消色差放大。在保证光束形貌的同时，解决了CCD芯片单个像元比光斑直径大而导致完全无法观测的困境。
