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SID4紫外高分辨率波前像差仪

SID4紫外高分辨率波前像差仪

基于Phasics独特的SID4四波横向剪切干涉技术所开发的专利技术,紫外高分辨率波前分析仪设备可覆盖190-400 nm紫外检测波段,在紫外线光谱中提供了无与伦比的高分辨率(355x280测量点)和非常高的灵敏度(1 nm RMS)。为波前像差、波前畸变的检测以及激光光束及波前探测、分析提供了全新方案。

所属品牌: Phasics

产品介绍

紫外高分辨率波前分析仪190-400nm紫外相应高灵敏度

基于独特的专利技术,法国Phasics公司的波前传感器具备高灵敏度及高相位分辨率的特点,即插即用的适用类型适用于大多数用户的应用环境。法国Phasics公司为用户提供两款紫外检测波前分析仪,SID4-UVSID4-UV-HR

其中SID4-UV-HR作为SID4-UV的增强款,该设备在190-400 nm的紫外波段有着极高的相位分辨率(355×280取样分辨率)、极高的相位灵敏度(优于1 nm RMS)以及更大的靶面面积(13.8 x 10.88 mm²)。这使得SID4-UV-HR适用于光刻、半导体等领域,尤其适用于透镜或晶圆等的光学组件表征以及波前像差,波前曲线的波前探测需求。

相比之下,SID4-UV适用于250-400 nm波段的紫外光谱,250 × 250的取样分辨率、2 nm RMS的相位灵敏度以及7.4 × 7.4 mm²的靶面面积足以满足大部分用户需求,相比于SID4-UV-HR更具备成本效益,在满足用户使用需求的前提下有效的节约用户成本。


Phasics高分辨率波前像差仪应用领域:

-工业激光

-光学元件及组装

-增强现实-虚拟现实

-天文观测

-航空航天工业

-半导体加工


SID4-UV紫外波前分析仪产品规格:

型号

SID4-UV

波长范围

250 - 400 nm

靶面尺寸

7.4 x 7.4 mm²

空间分辨率

29.6 µm

取样分辨率

250 x 250

相位分辨率

2 nm RMS

绝对精度

10 nm RMS

取样速度

30 fps

实时处理速度*

> 2 fps (全分辨率下)*

接口种类

以太网口

尺寸(宽xx长)

78 x 88.1 x 71.1 mm³

重量

575g

*使用官方电脑搭载SID4软件环境下

Phasics高分辨率波前像差仪主要特点:

-250 - 400 nm紫外波段响应

-2 nm RMS高相位灵敏度

-250 × 250超高相位取样分辨率


紫外高分辨率波前分析仪产品应用:

-激光检测

-自适应光学检测

-等离子体检测

-光学元件及光学系统计量

SID4-UV-HR紫外高分辨率波前分析仪产品规格:

型号

SID4-UV-HR

波长范围

190 - 400 nm

靶面尺寸

13.8 x 10.88 mm²

空间分辨率

38.88 µm

取样分辨率

355 x 280

相位分辨率

1 nm RMS

绝对精度

10 nm RMS

取样速度

30 fps

实时处理速度*

> 3 fps (全分辨率下)*

接口种类

CameraLink

尺寸(宽xx长)

51 x 51.1 x 76 mm³

重量

300g

*使用官方电脑搭载SID4软件环境下


紫外高分辨率波前分析仪主要特点:

-190-400 nm紫外波段响应

-1 nm RMS高相位灵敏度

-355 × 280超高相位取样分辨率


紫外高分辨率波前分析仪产品应用:

-激光检测

-自适应光学检测

-等离子体检测

-光学元件及光学系统计量

-波前曲线检测



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