Boston Micromachines公司开创了MEMS（微机电系统）可变形镜面技术，Boston Micromachines变形镜用于先进的光学控制。这些微型精密变形镜使世界顶级研究人员能够在天文学、显微镜技术、激光控制和视网膜成像方面取得突破。在MEMS反射镜开发和扩展到全高分辨率成像系统方面，Boston Micromachines公司致力于推动光子学应用领域的研发。
所属品牌：
MEMS（微机电系统）可变形镜面技术Boston Micromachines变形镜
中科光学为用户提供来自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微机电可变形反射镜和微机电分段变形镜，类型主要分为低致动器数DM、中执行器计数DM以及高执行器数MEMS可变形反射镜。
Multi-DM可变形镜能够实现高达 5.5 μm 的行程、2 kHz 的帧速率、亚纳米级步长且无滞后。以 X-Driver 的形式为 Multi-DM 系统提供高速电子升级。
中执行器数DM系统是高性能波前校正器，适用于天文学、激光通信和远程成像等要求严苛的应用，提供三种类型：Kilo-DM、492-DM 和 648-DM。
Kilo-DM可变形镜是用于精确、高速、高分辨率波前控制的使能组件。多达 1020 个执行器控制在1纳米以下的精度且无滞后，该系统非常适合要求严苛的应用。
作为流行的Kilo-DM可变形镜的替代品，492-DM和 648-DM可以以更低的成本使用并产生卓越的效果。492-DM和648-DM系统分别将492和648执行器的精度控制在1 nm以下且无滞后，是天文学和下一代成像应用的理想选择。
Boston Micromachines Corporation(BMC)是高执行器数MEMS变形镜技术的行业领导者，这些反射镜部署在世界各地著名的天文设施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM 安装在双子座行星成像仪器上2K-DM则包含在多个空间望远镜概念的设计中。
此外，2K-DM 被安装为斯巴鲁日冕仪极端自适应光学（SCExAO）仪器和麦哲伦望远镜 (MagAO-X) 的实验性日冕极端自适应光学系统中的启用组件。多年来，两者都一直在空中观测中持续运行。
Boston Micromachines变形镜其中低制动器数MEMS反射镜是用于高级波前控制的经济且通用的像差调制解决方案，具有高达140个精确控制的元件和低致动器间耦合，Multi-DM系统是包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束整形应用在内的广泛应用的理想选择。这种DM可用于自适应光学或空间光调制器应用的连续和分段表面。
微机电可变形反射镜, MEMS变形镜规格：
|
DM型号 |
执行器数量 |
跨孔径执行器数量 |
物理行程(μm） |
波前行程(μm) |
孔径（mm） |
螺距(μm) |
机械响应 |
更新率：标准（kHz） |
更新率：高速（kHz） |
近似执行器耦合 |
|
Multi-C-1.5L-DM |
137 |
13 |
1.5 |
3.0 |
4.80 |
400 |
＜75 |
2 |
100 |
15% |
|
Multi-3.5-DM |
140 |
12 |
3.5 |
7.0 |
4.40 |
400 |
＜75 |
2 |
100 |
13% |
|
Multi-3.5L-DM |
140 |
12 |
3.5 |
7.0 |
4.95 |
450 |
＜75 |
2 |
100 |
13% |
|
Multi-5.5-DM |
140 |
12 |
5.5 |
11.0 |
4.95 |
450 |
＜100 |
2 |
100 |
22% |
|
492-S-0.6-DM |
492 |
24 |
0.6 |
1.2 |
6.90 |
300 |
＜20 |
60 |
n/a |
15% |
|
492-S-1.0-DM |
492 |
24 |
1.0 |
2.0 |
9.20 |
400 |
＜75 |
60 |
n/a |
13% |
|
492-1.5-DM |
492 |
24 |
1.5 |
3.0 |
6.90 |
300 |
＜20 |
45 |
60 |
15% |
|
492-3.5-DM |
492 |
24 |
3.5 |
7.0 |
9.20 |
400 |
＜75 |
45 |
60 |
13% |
|
492-5.5-DM |
492 |
24 |
5.5 |
11.0 |
10.35 |
450 |
＜100 |
45 |
60 |
22% |
|
648-5.5-DM |
648 |
28 |
5.5 |
11.0 |
12.15 |
450 |
＜100 |
45 |
60 |
22% |
|
Kilo-CS-0.6-DM |
952 |
34 |
0.6 |
1.2 |
9.90 |
300 |
＜20 |
60 |
n/a |
15% |
|
Kilo-CS-1.0-DM |
952 |
34 |
1.0 |
2.0 |
13.20 |
400 |
＜75 |
60 |
n/a |
13% |
|
Kilo-C-1.5-DM |
952 |
34 |
1.5 |
3.0 |
9.90 |
300 |
＜20 |
45 |
60 |
15% |
|
Kilo-C-3.5-DM |
952 |
34 |
3.5 |
7.0 |
13.20 |
400 |
＜75 |
45 |
60 |
13% |
|
2K-1.5L-DM |
2040 |
50 |
1.5 |
3.0 |
19.60 |
400 |
＜40 |
30 |
n/a |
15% |
|
2K-3.5-DM |
2040 |
50 |
3.5 |
7.0 |
19.60 |
400 |
＜75 |
30 |
n/a |
13% |
|
3K-1.5-DM |
3063 |
62 |
1.5 |
3.0 |
18.30 |
300 |
＜20 |
16 |
n/a |
15% |
|
4K-3.5-DM |
4092 |
64 |
3.5 |
7.0 |
25.20 |
400 |
＜75 |
16 |
n/a |
13% |
请注意：填充系数>99%(DM)，表面形状：<30 nm
*自定义执行器可根据要求提供
可变形镜可用的选项：
|
变形镜 |
镀层 |
窗口AR镀层（nm） |
驱动* |
|
Multi |
铝金防护银 |
400-1100 550-2500 650-1050 1050-1700 1550 |
Multi-Driver X-Driver |
|
492 648 ** Kilo |
400-1100 550-2500 1550 |
S-Driver ** Kilo-Driver Kilo-Low-Latency-Driver |
|
|
2K 3K 4K |
400-1100 550-2500 1550 |
+K Driver |
* 亚纳米级平均步长
** S-Driver 不适用于 648 DM
微机电分段变形镜，MEMS可变形反射镜规格：
|
DM型号 |
执行器数量 |
跨孔径执行器数量 |
物理行程（μm） |
波前行程（μm） |
孔径（mm） |
螺距（μm） |
机械响应 |
更新率：标准（kHz） |
更新率：高速（kHz） |
近似执行器耦合 |
|
492-S-1.0-SLM |
492 |
24 |
1.0 |
2.0 |
9.60 |
400 |
＜80 |
60 |
n/a |
0% |
|
492-3.5-SLM |
492 |
24 |
3.5 |
7.0 |
9.60 |
400 |
＜80 |
45 |
n/a |
0% |
|
Kilo-CS-1.0-SLM |
952 |
34 |
1.0 |
2.0 |
13.60 |
400 |
＜80 |
60 |
n/a |
0% |
|
Kilo-C-3.5-SLM |
952 |
34 |
3.5 |
7.0 |
13.60 |
400 |
＜80 |
45 |
n/a |
0% |
|
2K-1.5L-SLM |
2040 |
50 |
1.5 |
3.0 |
20.00 |
400 |
＜20 |
30 |
n/a |
0% |
|
2K-3.5-SLM |
2040 |
50 |
3.5 |
7.0 |
20.00 |
400 |
＜80 |
30 |
n/a |
0% |
请注意：填充系数>98%(SLM)，表面形状：<30 nm
*自定义执行器可根据要求提供
微机电可变形反射镜特点：
-大阵列产生高分辨率波前校正。
-先进的微结构允许对高空间频率表面的相邻执行器之间的影响最小
-优化设计可实现高速应用的快速波前整形
ISP大口径变形镜
ISP公司所生产的ISP大口径变形镜被广泛应用于激光传输和波前矫正、高质量聚焦、激光扩束/缩束以及成像的像差调制中，是激光通信、天文学、高能量激光应用及自适应光学系统中的关键核心部件。ISP大口径变形镜的独特构造，使得变形镜可断电使用，且稳定性高，相比压电式变形镜具有更优的滞后效应。
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Dynamic-Optics光学自适应镜头
Dynamic-Optics变形镜，自适应镜头适用于任何类型的光学系统中进行波前像差校正的理想解决方案。高透光率(>94%)、高损伤阈值使其适合于共焦、多光子和任何类型的超分辨显微镜的波前校正。它们是小型临床系统或手持设备的波前畸变校正理想解决方案。它们可以用于激光光学显微镜(SLO)、光学相干层析成像(OCT)和眼底相机。
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透射变形镜DPP
型号为Delta 7的Phaseform透射式变形镜是一种结构紧凑的透射式波前调制器，采用折射式原理的光流体封装。这款小型变形镜的核心是一块Deformable Phase Plate相位调制变形镜DPP，透射变形镜DPP采用新型的光流体技术，是一种折射自适应光学元件。这种技术的特点是透射式，微型超紧凑，高分辨率，可扩展（光流体封装）等。Delta 7小型变形镜(透射式)可用于复制径向7阶的Zernike泽尼克模式。
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APLAO自适应光学系统
APLAO自适应光学系统集成了ALPAO可变形反射镜、自适应光学哈特曼波前传感器和Alpao自适应光学系统控制软件，模块化设计使得该系统整体配置类型可达到百余种，适用于天文自适应光学望远镜，自由空间激光通信，多光子荧光显微镜等应用。
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