Si微透镜阵列

硅制的红外微透镜阵列的光谱范围可以达到3.5μm以上，切成本和加工难度上要优于熔石英。现阶段我司的Si复眼透镜制作精度与现有的高精度石英微透镜阵列一致，因为Si复眼透镜的材质的折射率更大，所以焦距可变可选范围更广。

所属品牌： 中科光学

产品介绍

适用于红外波段，范围更广，性价比高，高精度硅微透镜阵列

现有硅微透镜阵列标准品型号：

微透镜阵列型号	子单元形状	Pitch/μm	F/mm	镜片尺寸/mm	厚度/mm	镀膜
MLSi-S100-F0.157	方形	100	0.157	6.85×6.85	0.25mm	未镀膜
MLSi-S100-F0.157	方形	100	0.157	6.8×6.8	0.25mm	增透膜
MLSi-S127-F0.53	方形	127	0.53	10×10	1mm	未镀膜
MLSi-S200-F3	方形	200	3	10×10	1mm	未镀膜
MLSi-S200-F3	方形	200	3	10×10	1mm	未镀膜
MLSi-S250-F0.66	方形	250	0.66	10×10	1mm	未镀膜
MLSi-S500-F5	方形	500	5	10×10	1mm	未镀膜
MLSi-S500-F5	方形	500	5	15.5×15.5	1mm	增透膜
MLSi-S800-F2.59	方形	800	2.59	10×10	1mm	增透膜
MLSi-S1000-F15	方形	1000	15	12×12	2mm	未镀膜
MLSi-S1015-F40	方形	1015	40	10×10	2mm	未镀膜
MLSi-S1100-F35	方形	1100	35	12×12	2mm	未镀膜
MLSi-S1100-F35	方形	1100	35	15×15	1mm	未镀膜
MLSi-S1100-F35	方形	1100	35	Φ25.40	2.5mm	未镀膜
MLSi-S1500-F35	方形	1500	35	12×12	2mm	未镀膜

微透镜阵列常见的生产材质主要有硅、熔融石英和塑料。熔融石英聚焦较好的透过率和耐受性，在适用波段上，根据材质的不同，分为紫外，可见光波段和红外熔融石英。而硅材料，在红外波段可工作的波长范围比熔融石英更广，也是常见、首选的红外波段Si复眼透镜生产材质。塑料材质，因为工艺上的差异，更适合于微透镜阵列的批量生产，在成本控制上性价比跟高。

我司现隆重推出硅微透镜阵列，以满足可在红外波段的应用需求。现阶段的Si微透镜阵列虽然刚起步，但亦有数十个标准品型号。口径囊括常见的尺寸，在100-1500μm之间。因为硅制的红外微透镜阵列，材质折射率比较大，所以，相同的工艺下，我们不仅达成了与熔融石英微透镜阵列一致的加工精度，同时，在微透镜阵列的焦距上有了更大的可选择性。

与微透镜阵列系类似，红外微透镜阵列常见的应用有：准直、匀化、波前传感等等。其主要的应用，是在传感器中，提高仪器的信息收集效率和探测精度。

考虑到客户的应用场景和实际需求，现阶段的口径只有方形。当然，如果客户有其他口径形状的红外微透镜阵列需求，亦可定制加工。口径上，主要有常见的100、200、250、500、800、1000、1100和1500μm等。硅材质红外波段的微透镜阵列在厚度上，可以比熔融石英的更薄，做到0.25mm。镜片尺寸上，依旧以常见的10*10mm为中心。

随着客户的需求的不断发展，我司Si微透镜阵列也会不断发展提高。目前Si微透镜阵列的加工精度与熔融石英的微透镜阵列一致，定制加工的能力上也是。但是因为Si复眼透镜的材质的折射率更高，所以客户定制的时候，焦距可以放的更大，可选择性更广。

常规定制加工限制：

-ROC误差：±5%

-表面粗糙度：<30nm

-Pitch误差：小于±1μm

-子单元之间存在2-4μm的间隙

常规定制加工限制：

-子单元（微透镜）的pitch值介于15-1500μm

-子单元的矢高（穹顶到衬底的高度sag）介于0.7-50μm

-只能加工单片平凸结构，双凸加工不了

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