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Si微透镜阵列

Si微透镜阵列

硅制的红外微透镜阵列的光谱范围可以达到3.5μm以上,切成本和加工难度上要优于熔石英。现阶段我司的Si复眼透镜制作精度与现有的高精度石英微透镜阵列一致,因为Si复眼透镜的材质的折射率更大,所以焦距可变可选范围更广。

所属品牌: 中科光学

产品介绍

适用于红外波段,范围更广,性价比高高精度硅微透镜阵列

现有硅微透镜阵列标准品型号:

微透镜阵列型号

子单元形状

Pitch/μm

F/mm

镜片尺寸/mm

厚度/mm

镀膜

MLSi-S100-F0.157

方形

100

0.157

6.85×6.85

0.25mm

未镀膜

MLSi-S100-F0.157

方形

100

0.157

6.8×6.8

0.25mm

增透膜

MLSi-S127-F0.53

方形

127

0.53

10×10

1mm

未镀膜

MLSi-S200-F3

方形

200

3

10×10

1mm

未镀膜

MLSi-S200-F3

方形

200

3

10×10

1mm

未镀膜

MLSi-S250-F0.66

方形

250

0.66

10×10

1mm

未镀膜

MLSi-S500-F5

方形

500

5

10×10

1mm

未镀膜

MLSi-S500-F5

方形

500

5

15.5×15.5

1mm

增透膜

MLSi-S800-F2.59

方形

800

2.59

10×10

1mm

增透膜

MLSi-S1000-F15

方形

1000

15

12×12

2mm

未镀膜

MLSi-S1015-F40

方形

1015

40

10×10

2mm

未镀膜

MLSi-S1100-F35

方形

1100

35

12×12

2mm

未镀膜

MLSi-S1100-F35

方形

1100

35

15×15

1mm

未镀膜

MLSi-S1100-F35

方形

1100

35

Φ25.40

2.5mm

未镀膜

MLSi-S1500-F35

方形

1500

35

12×12

2mm

未镀膜




微透镜阵列常见的生产材质主要有硅、熔融石英和塑料。熔融石英聚焦较好的透过率和耐受性,在适用波段上,根据材质的不同,分为紫外,可见光波段和红外熔融石英。而硅材料,在红外波段可工作的波长范围比熔融石英更广,也是常见、首选的红外波段Si复眼透镜生产材质。塑料材质,因为工艺上的差异,更适合于微透镜阵列的批量生产,在成本控制上性价比跟高。

我司现隆重推出硅微透镜阵列,以满足可在红外波段的应用需求。现阶段的Si微透镜阵列虽然刚起步,但亦有数十个标准品型号。口径囊括常见的尺寸,在100-1500μm之间。因为硅制的红外微透镜阵列,材质折射率比较大,所以,相同的工艺下,我们不仅达成了与熔融石英微透镜阵列一致的加工精度,同时,在微透镜阵列的焦距上有了更大的可选择性。

与微透镜阵列系类似,红外微透镜阵列常见的应用有:准直、匀化、波前传感等等。其主要的应用,是在传感器中,提高仪器的信息收集效率和探测精度。


考虑到客户的应用场景和实际需求,现阶段的口径只有方形。当然,如果客户有其他口径形状的红外微透镜阵列需求,亦可定制加工。口径上,主要有常见的100200250500800100011001500μm等。硅材质红外波段的微透镜阵列在厚度上,可以比熔融石英的更薄,做到0.25mm。镜片尺寸上,依旧以常见的10*10mm为中心。

随着客户的需求的不断发展,我司Si微透镜阵列也会不断发展提高。目前Si微透镜阵列的加工精度与熔融石英的微透镜阵列一致,定制加工的能力上也是。但是因为Si复眼透镜的材质的折射率更高,所以客户定制的时候,焦距可以放的更大,可选择性更广。


常规定制加工限制:

-ROC误差:±5%

-表面粗糙度:<30nm

-Pitch误差:小于±1μm

-子单元之间存在2-4μm的间隙

常规定制加工限制:

-子单元(微透镜)的pitch值介于15-1500μm

-子单元的矢高(穹顶到衬底的高度sag)介于0.7-50μm

-只能加工单片平凸结构,双凸加工不了



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