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1微米精度Z轴位移台

1微米精度Z轴位移台

Zaber于2022年新推出了X-LDM-AEZ系列1μm精度Z轴升降台,目前Z轴升降台的行程有25mm,40mm,60mm。作为Zaber厂家电动Z轴升降台的旗舰型号,采用直线电机,其精度达到1μm,25nm步进,80nm重复精度。

所属品牌: Zaber

产品介绍

超高精度Z轴位移台1μm精度,25nm步进,80nm重复精度


Zaber的X-LDM-AEZ 系列是通过计算机软件控制的电动Z轴升降台,X-LDM-AE 直线电机升降台能在垂直应用中提供高精度、可靠性和高速度。被动的磁力平衡器可补偿高达 55 N(约5.5kg) 的负载重量,防止在断电期间发生坠落,或者不必要的运动。Z轴升降台只需一个螺丝即可在几秒钟内微调平衡的力。


1微米精度Z轴电动升降台是集成一体的独立单元,其他配件仅包括标准的48 V电源和电缆。可通过RS-232 端口或 USB 端口与计算机连接,并且可以与任何其他 Zaber厂家的平移台进行菊花链连接,并可共用一个电源。与 Zaber 的所有产品一样,X-LDM-AEZ 系列设计为“即插即用”,并且非常易于设置和操作。 X-LDM-AEZ系列1微米Z轴电动升降台还包括一个数字输入和两个数字输出,用于与外部系统连接。事件驱动的触发系统允许根据 I/O、时间或运动刺激对设备进行编程以实现独立操作。



X-LDM-AE系列1微米精度Z轴电动升降台规格:

X-LDM-AE规格

参数

内置控制器

Yes

行程

60 mm / 40mm

2.362"

精度(单向)

1 µm

0.000039"

重复精度

< 0.08 µm

< 0.000003"

Min增量移动

25 nm

Maximum Acceleration

16 m/s2

1.63 g

Max速度

800 mm/s

31.496"/s

Min速度

0.61 nm/s

Speed Resolution

0.61 nm/s

编码器类型

Linear analog encoder

Encoder Count Size

1 nm

峰值推力

10 N

2.2 lb

最大连续推力

25 N

5.6 lb

通讯接口

RS-232

通讯协议

Zaber ASCII (Default)

Maximum Cantilever Load

1200 Ncm

1699.3 ozin

导轨类型

Crossed-Roller Bearing

Horizontal Runout

< 4 µm

< 0.000157"

Pitch

0.003°

0.052 mrad

Roll

0.002°

0.035 mrad

Yaw

0.002°

0.035 mrad

Counterbalance Type

Adjustable Magnetic

Counterbalance Payload Range

10-33 N

2.2-7.4 lb

Maximum Current Draw

3000 mA

电源

48 VDC

电源插头

2-pin screw terminal

电机类型

Moving Magnet Track Linear Motor

数据线连接

Locking 4-pin M8

Limit or Home Sensing

Optical Index Mark

Manual Control

Indexed knob with push switch

Axes of Motion

1

LED 指示灯

Yes

安装孔

M6 threaded holes

工作温度范围

0 to 50 °C

真空兼容

No

符合 RoHS 标准

Yes

符合 CE 标准

Yes

移动质量

2.32 kg

5.104 lbs

数字输入端口

1

数字输出端口

2

重量

5.17 kg

11.398 lb




Zaber 1μm精度Z轴升降台特点:

1. 1微米精度Z轴电动升降台通过RS232串行端口(X-SDC 电缆)或 USBX-USBDC 电缆)控制菊花链中的所有单元。

2. 可通过X-DC02电缆或X-DC06电缆串联其他电动平移台设备,并可共用一个电源。

3. 一个分度旋钮提供方便的手动控制。通过旋钮可以很容易地实现低至25nm的一致步进。

4. 超高精度Z轴升降台通过被动的磁力平衡器可以补偿高达55N的负重,平衡力可以在几秒钟内精细调整,防止断电坠落。

5. 超高精度Z轴升降台提供免费的软件,可以针对任何有效载荷质量自动优化伺服调整参数。 参数可以即时调整。

6. X-LDM-AEZ升降台的设计具有极高的可靠性。零移动电缆,结合非接触式驱动和编码器,形成了一个异常坚固的系统。


7. 1 nm 分辨率线性编码器安装在Z轴升降台中央,以实现极佳精度和重复性精度。

8. 电动Z轴升降台超光滑交叉滚子轴承提供长寿命和出色的俯仰pitch、翻滚roll和偏航yaw规格。

9. 超高精度Z轴升降台使用侧装式的无铁芯直线电机提供出色的动态性能,同时通过使热量远离位移台的编码器刻度来提高可重复性。

10. 超高精度Z轴升降台包含一个数字输入和两个数字输出,用于与外部系统连接的接口。


1微米Z轴电动升降台可通过USB 2.0 RS232串行端口轻松连接到电脑,并通过 RS-232 向其发送命令。 Zaber的电动Z轴升降台提供免费、直观的 Windows 软件可以轻松控制设备的速度和位置、更改设备设置和编写自定义脚本。对于 LabVIEW 用户,我们提供免费的 LabVIEW 认证驱动程序。


Zaber公司的电动Z轴升降台有一个手动的分度旋钮,即使没有电脑,也可以通过手动操作旋钮,实现位移台在2个方向上以不同的速度平滑运行。在速度模式下,转动旋钮,滑台开始以恒定的速度移动,旋钮有好几个档位,调整不同的档位,速度会增快或者降低。在位移模式下,旋钮的每一个增量都使设备移动一个可配置的距离。按压旋钮1秒钟,可以在两种模式之间切换。无在任何操作中,你也可以通过按压旋钮发出停止命令。


1μm精度Z轴升降台尺寸图:



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