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SP-Mini-500压电纳米定位台

SP-Mini-500压电纳米定位台

英国Prior•queenstage 推出的压电纳米定位平台:SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台,是一款用于纳米样品定位的长行程电动Z轴,闭环行程500um。

所属品牌:

产品介绍

SP-Mini-500压电纳米定位台长行程,高精度,压电纳米定位



压电纳米定位台SP-Mini-500的技术规格    

技术规格

参数

单位

材质

铝和不锈钢


尺寸

36.5 x 60 x 24.5

10

15x15mm

mm


最小

常规

最大


开环行程

550

650


um

闭环行程


500


um

静态刚度


0.135


Num-1

谐振频率:0 g负载


210


Hz

谐振频率:20g负载


195


Hz

谐振频率:最大负载



1

Kg

动力参数

慢速

中速

快速


3 dB带宽



55

Hz

小信号稳定时间



10

ms

位置噪音/分辨率

2


5

nmrms

重复性(半程)

5



nm

误差

最小

常规

最大

单位

线性误差(峰值)


0.02


%

旋转误差(roll)


0.0025


deg

旋转误差(pitch)


0.0025


deg

旋转误差(yaw)


0.005


deg

Prior电动Z轴SP-Mini-500压电纳米位移台的可选配件:

-35 mm培养皿插件

-单波片夹具

纳米压电位移台SP-Mini-500需要配合英国Prior·queenstage专门为压电纳米定位设备研发的NPC-D-6110控制器。其强大的数字控制器可以最快的速度驱动纳米压电位移台SP-Mini-500。


英国Prior·queenstage 推出的压电纳米定位平台:SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台,是一款用于纳米样品定位的长行程电动Z轴,闭环行程500umSP-Mini-500压电纳米定位台,占地面积小,是理想的易于集成在仪器或测试设备中的紧凑型纳米压电定位台。该Prior·queenstage的纳米压电位移平台具有非常低的运动误差,内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。

SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台的平台在整个500微米的行程范围内保持非常稳定的状态。这使得样品架可以偏移放置。此电动Z轴在保持高性能定位的同时提高了对检测设备对于样品的定位能力。此Prior•queenstage的压电纳米定位台的样品架和载物台可以定制,以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。


SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台

紧凑型纳米压电定位台SP-Mini-500的主要特点:

->500 um行程,纳米级分辨率

-非常低的旋转误差:0.0025°

-电容式定位传感器,提供较高位置精确度和准确度。2 nm分辨率和5 nm重复度

-线性误差一般为<0.002%

-动态性能:空载谐振频率一般为210 Hz,同服环路带宽可达55 HZ

-原位扫描和步进响应优化

-即插即用:载物台连接器包含载物台校准数据和参考传感器,便于控制器互换

-压电纳米定位


SP-Mini-500压电纳米定位台主要应用:

       -高精度显微镜:共聚焦和光片等

       -硬盘检测

       -半导体检测和制造

       -配合科学和医疗研究设备使用

-镜片定位

-纳米压电位移和纳米样品定位等




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