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193nm激光衰减器LaserOptik

193nm激光衰减器LaserOptik

LASEROPTIK提供的可变可变激光衰减器是通过倾斜边缘滤光片来改变透射率,入射角(AOI) 0°时透射率最高,AOI 0°至45°,波长范围157-2970nm。

所属品牌:

产品介绍

LaserOptik可变衰减器AVACS157-2970nm,AOI 0°至45°

193nm衰减器AVACS的特点:

LaserOptik激光衰减器的基底材料、波长、反射/透射率、入射角、偏振和GDD值等进行优化,另外,还可以根据用户的需求进行全新的设计。

LaserOptik激光衰减器的镀膜类型Coating types参数:


图3:PR通过AOI改变反射/透射比,通过改变AOI(例如0-45°)可以连续改变传输,也可作为反向可变衰减器(IVA)

波长λ[nm]

0°→45°; T=

对应的镀膜技术method

157

70%→2%

on CaF2

EBE

70%→2%

on CaF2

EBE inversely (IVA)

193

80%→10%

MS

248

90%→2%

标准

EBE

95%→1%

高功率

MS

10%→95%

高功率

MS  inversely (IVA)

266

92%→1%

标准

EBE

95%→1%

高功率

MS

355

92%→1%

标准

EBE

92%→1%

不偏移

IAD

532

92%→1%

标准

EBE

90%→1%

不偏移

IAD

808

95%→1%

不偏移

IAD

940

95%→1%

不偏移

IAD

1064

95%→1%

EBE

95%→1%

不偏移

IAD

1550

95%→1%

EBE

2940

90%→1%

on CaF2

EBE


*所有数值均为标准涂层的数值,而且这些类型涂层均可提供定制。

可提供如下的EBE、IAD、IP、MS和IBS涂层供选择。

图4:涂层种类


说明:

如无特殊说明,所有数值和图表均已给出。

用于所述波长区域的标准基底材料(主要是熔融石英或CaF2)。

无需考虑后表面。

采用EBE涂层技术,具有良好的性价比。

所有类型均可提供定制涂层。

–––– 虚线显示具有指定放大倍数的缩放曲线

可变衰减器(Variable AttenuatorsVA)

LASEROPTIK提供的可变可变激光衰减器(Variable AttenuatorsVA)是通过倾斜边缘滤光片来改变透射率,入射角(AOI) 0°时透射率最高,AOI 0°至45°,波长范围157-2970nm。特别是具有193nm激光衰减器LaserOptik


反向可变衰减器(Inversely Variable Attenuators, IVA)

反向可变衰减器(Inversely Variable Attenuators, IVA)工作原理与VA相同,但在AOI 0°时传输率最低。其中,给出的公差表示传输中的最小调谐范围,光束位移可以通过同时使用第二块板或两片滤光片来补偿。若要实现低衰减,建议使用AR涂层第二板。


LASEROPTIK提供的自动可变衰减器控制系统(Automatic Variable Attenuator Control System, AVACS)由步进电机驱动,可手动控制或由计算机控制。AVACS系列衰减器包括电源、控制显示屏、操作元件、启动程序、限位装置、计算机接口和水冷装置。此外,193nm衰减器AVACS还可提供带手动调节功能的简易外壳,该装置专为衰减不同波长的光束而设计,LaserOptik激光衰减器AVACS通过改变光束路径上光学器件的角度来实现各种强度,其中,补偿滤波片用于光束校正。光学镜组不包括在供货范围内,可从LASEROPTIK GmbH(德国加布森,30826)购买各种波长的滤光镜片。

可以通过以下三种不同的方式进行控制:

1. 手动Manual3个功能按钮和自解释显示屏

2. 模拟Analogue:可连接0-10V直流电,即来自SPS的直流电。

3. 电脑PC:可使用随附的Net "Software软件进行串行接口连接。

1LaserOptik可变衰减器AVACS图示

2248nm激光衰减器的透射率随入射角变化的曲线图

248nm Variable Attenuator激光衰减器规格:

consisting of

B-00211

VA248nm/0-45° T 90%-2%

T>90% 0-15° (depending on the production tolerance)

T<2% 45°

B-00002

AR248nm/0°

R<0.25%

S-00016

FS-LO-U 50x27x1.5mm

plane

Surface form deviations: 3/4(4) Wedge: <5'


193nm激光衰减器LaserOptik的曲线图:

5:衰减器曲线图


193nm激光衰减器LaserOptik的配件Components

- AVACS-主机

- 110/230V,50/60Hz电源

- 电源电缆

- 串行接口电缆

- 模拟控制连接电缆

- 完整版 .NET 软件光盘

- 可伸缩镊子,用于安装光学器件/滤光片

- 运输箱


6LaserOptik衰减器配件



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