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偏振分光棱镜,193nm

偏振分光棱镜,193nm

B.halle193nm偏振分束器/偏振立方体分光棱镜由熔融石英制成,可提供10mm、20mm、30mm和50mm的尺寸。当偏光立方体分光器的尺寸为10±0.5mm时,193nm PBS的测试中心区域为直径9mm,传输中的消光比<1:200,光束偏差<5’。

所属品牌: B.Halle

产品介绍

德国B.halle可提供193nm偏振分光立方体(Polarizing Beamsplitter Cubes),中心波长193.4nm193nm偏振分光立方体由直角棱镜光学连接(optical contact)组成,这使得立方体偏振分束器的损伤阈值不能超过2W/cm2193偏振立方分光体其中一个棱镜的内表面镀有介质偏振分光膜。B.halle分光棱镜的该膜层在宽光谱范围内对S偏振光具有高反射率,对P偏振光具有高透射率。

B.halle193nm偏振分束器/偏振立方体分光棱镜由熔融石英制成,可提供10mm20mm30mm50mm的尺寸。当偏光立方体分光器的尺寸为10±0.5mm时,193nm PBS的测试中心区域为直径9mm,传输中的消光比<1:200,光束偏差<5’。当B.halle偏振分束立方体的尺寸为20±0.5mm时,测试中心区域为直径16mm。此时193偏振立方分光体传输中的消光比<1:200,光束偏差<10’。 立方体偏振分束器的透射波前畸变< λ/8 at

λ=532nm。偏振立方体分光棱镜的外表面缺陷为5/1x0.1,内表面缺陷为5/3x0.16L400x0.001


下图描述了偏振立方体分光棱镜在深紫外波段(190-210nm)的透射率如何随波长的变化而变化。其核心目的是展示该光学元件在目标工作波长193nm附近的性能。193nm偏振分光立方体在190-210nm范围内,S光的最高透过率仅为0.5%P光的透过率接近95%,这正是一个高质量193nm对于被阻挡的偏振态(即S光)所表现的典型特征——高消光比。消光比(通常指Tp/Ts)是衡量偏振分光棱镜性能的关键指标,这个值越高越好。例如在193nm处,B.halle分光棱镜的Ts约为0.25%Tp约为75%,那么消光比约为300:1


193nm偏振分光立方体(193nm PBS Polarizing Beamsplitter Cubes)的透过率曲线



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