
B.halle193nm偏振分束器/偏振立方体分光棱镜由熔融石英制成,可提供10mm、20mm、30mm和50mm的尺寸。当偏光立方体分光器的尺寸为10±0.5mm时,193nm PBS的测试中心区域为直径9mm,传输中的消光比<1:200,光束偏差<5’。
所属品牌: B.Halle
德国B.halle可提供193nm偏振分光立方体(Polarizing Beamsplitter Cubes),中心波长193.4nm。193nm偏振分光立方体由直角棱镜光学连接(optical contact)组成,这使得立方体偏振分束器的损伤阈值不能超过2W/cm2。193偏振立方分光体其中一个棱镜的内表面镀有介质偏振分光膜。B.halle分光棱镜的该膜层在宽光谱范围内对S偏振光具有高反射率,对P偏振光具有高透射率。
B.halle193nm偏振分束器/偏振立方体分光棱镜由熔融石英制成,可提供10mm、20mm、30mm和50mm的尺寸。当偏光立方体分光器的尺寸为10±0.5mm时,193nm PBS的测试中心区域为直径9mm,传输中的消光比<1:200,光束偏差<5’。当B.halle偏振分束立方体的尺寸为20±0.5mm时,测试中心区域为直径16mm。此时193偏振立方分光体传输中的消光比<1:200,光束偏差<10’。 立方体偏振分束器的透射波前畸变< λ/8 at
λ=532nm。偏振立方体分光棱镜的外表面缺陷为5/1x0.1,内表面缺陷为5/3x0.16;L400x0.001。
下图描述了偏振立方体分光棱镜在深紫外波段(190-210nm)的透射率如何随波长的变化而变化。其核心目的是展示该光学元件在目标工作波长193nm附近的性能。193nm偏振分光立方体在190-210nm范围内,S光的最高透过率仅为0.5%,P光的透过率接近95%,这正是一个高质量193nm对于“被阻挡”的偏振态(即S光)所表现的典型特征——高消光比。消光比(通常指Tp/Ts)是衡量偏振分光棱镜性能的关键指标,这个值越高越好。例如在193nm处,B.halle分光棱镜的Ts约为0.25%,Tp约为75%,那么消光比约为300:1。
193nm偏振分光立方体(193nm PBS :Polarizing Beamsplitter Cubes)的透过率曲线

石英退偏器DEQ,193nm
Optosigma193nm退偏器DEQ-2S是带有楔角的水晶和合成石英直接接触后构成的退偏器。由于合成石英的楔角抵消水晶的光束偏角,光束将不会偏转。由于双面都镀有防反射膜,具有高透过率,波长范围350-2500nm。主要分为三款型号:DEQ-1N, DEQ-2S和DEQ-2OP。
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非偏光立方分光镜NPCH
西格玛光机非偏振立方分光镜和直线偏光的偏光方向无关,反射光和透过光的分束比(1:1)保持不变。备有适用于各种激光波长的系列产品。
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