Innofocas微区薄膜测量仪采用亚毫米级的小光斑，波长范围覆盖可见光和近红外光（350~1000nm）以及短波红外光（1000~1700nm），对于测量光斑的直径，可以提供5um，10um，50um，80um和100um进行选择
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Innofocas微区薄膜测量仪采用亚毫米级的小光斑，膜厚测量仪测量用的光斑直径从5um到100um。波长范围覆盖可见光和近红外光（350~1000nm）以及短波红外光（1000~1700nm）。微区薄膜测量仪测量光谱分辨率可小至0.25nm，反射率测量的精度<0.05%。微区薄膜测量仪对于测量光斑的直径，可以提供5um，10um，50um，80um和100um进行选择。膜厚测量仪主要测量的是材料表面的反射率，镀膜的膜层厚度，以及被测材料的光学常数。
Innofocas微区薄膜测量仪主要特点：
-膜厚测量仪可选350nm~1000nm和1000~1700nm测试波段。
-快速测量（小于0.1s）
-膜厚测量范围广（15nm~100um）
单点膜厚仪主要应用：
-科研材料测量
-非接触式薄膜测试
-工业生产质量检测
-特殊的科研检测应用
Innofocas单点膜厚仪对于膜厚的测量精度可以达到0.2nm，5um微区膜厚仪对于光学镜片的膜厚检测，医疗器械表面涂层，以及半导体制造中各个方面都能有较好的使用效果。微点膜厚仪对单点区域的膜厚或者光学常数的测量时间非常快，5um微区膜厚仪整体的耗时小于0.1s，微区域膜厚仪可以测量的膜厚区域为15nm~100um。微区域膜厚仪自带的平台和位移微分头可以容纳100mm大小的样品。
微点膜厚仪主要参数：
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微点膜厚仪Micro-spot Optical Thin Film Analyzer |
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测量项目 |
反射率，膜层厚度及光学常数（n&k） |
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光斑尺寸 |
5/10/50/100um |
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膜厚范围 |
15nm~100um |
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测量精度 |
0.2nm |
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测量时间 |
单点测量时间小于0.1s |
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光谱范围 |
350~1000nm/1000nm~1700nm |
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样品尺寸 |
1mm~100mm |
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仪器重量 |
2.8kg |
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仪器尺寸 |
290×230×250mm |
Innofocas单点膜厚仪对于目前很火的运用于锂电池中的薄膜测量，微点膜厚仪同样可以通过光学方式进行无接触测量。在保证了测试的安全性的同时加快了检测速度和检测参数的有效性。
SPEKTUM红外波长转换模块
1.9um–5.3um红外光谱转换器提供1.9至5.3um中红外波段到682至886nm可见光/近红外波段的宽范围转换。该范围内所有波长均可同步实时转换，无需时间延迟或扫描元件。输出信号可通过传统光纤耦合光栅光谱仪或硅基传感器探测器进行分析。
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WLMeter-NIR,WLMeter波长计
激光波长计WLMeter,WLMeter-NIR是一款独特的精密设备，可用于测量连续波和脉冲激光器的波长。WLMeter光谱仪具有多种先进功能，如：广泛的光谱分析机会（包括FWHM测定）、在190-1800nm宽光谱范围内的高精度（±3pm）（由 WLMeter的两种改型提供支持）以及无活动部件的紧凑型设计
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单色仪Monochromator
Sciencetech单色仪，又名Monochromator。Sciencetech标准型单色仪，适用波长范围 0-1450nm。Sciencetech单色仪的光学精度最高可以达到0.09nm，光谱精度最好是0.03nm。单个Monochromator可搭配最多3个光栅。
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MFI与MZI光纤干涉仪
Optiphase除了有光纤相位调制器，还有配套的迈克尔逊干涉仪（Michelson interferometer）MFI和马赫增德干涉仪MZI（MachZehnder interferometer）。操作波长涵盖1064nm、1310nm和1550nm三个常见波长。干涉仪搭配的是Optiphase自主研产的高速光纤拉伸器PZ1系列。标准型号，内置50m长的延迟调制光纤。
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